[½Åµ¿¾Æ¹æ¼Û=Lin jing zi ƯÆÄ¿ø] ÀϺ»ÀÌ ¹Ì±¹ÀÇ Áß±¹ ±ÔÁ¦ µ¿Âü ¿ä±¸¿¡ ¸ÂÃç ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÀåºñÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ µé¾î°¬´Ù°í ¾Æ»çÈ÷ µî ÀϺ» ¾ð·ÐÀÌ 23ÀÏ ÀüÇß´Ù.
º¸µµ´Â, °æÁ¦»ê¾÷¼º ¹«¿ª °ü·Ã ¹ý·ü ½ÃÇà·É °³Á¤À¸·Î ÀϺ»ÀÌ »ý»êÇϴ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤¡¤¼¼Á¤ Àåºñ µî 23°³ Ç°¸ñÀÇ Áß±¹ ¼öÃ⠽à °³º° Çã°¡ ÀýÂ÷°¡ Àû¿ëµÈ´Ù¸ç,
Áß±¹¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ ÀýÂ÷°¡ º¹ÀâÇØÁö¸é¼ ¼öÃâÀÌ ºÒ°¡´ÉÇØÁö´Â °æ¿ìµµ ¹ß»ýÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸Àδٰí ÀüÇß´Ù.
¹Ì±¹Àº Áö³ÇغÎÅÍ ³×´ú¶õµå¿Í ÀϺ»¿¡°Ô, Áß±¹¿¡ ´ëÇÑ Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÀåÄ¡ ¼öÃâ ¹× ±â¼ú °ø¿©¸¦ Á¦ÇÑÇϵµ·Ï °æÁ¦Àû °¾ÐÀ» ÇØ¿Ô´Ù.
Áß±¹Àº ´ÙÀ½´ÞºÎÅÍ °¥·ý°ú °Ô¸£¸¶´½ÀÇ ¼öÃâ Á¦ÇÑÀ» ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç, ÀϺ»°ú ¹«¿ª ÀüÀï ´ç½Ã È¿°ú¸¦ ºÃ´ø ÈñÅä·ù Ä«µå µîÀ» ´Ù½Ã ²¨³» µé °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
|
ÇÑÆí, ¹Ì±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±ÔÁ¦·Î Áß±¹ ¼öÃâ±æÀÌ ¸·Èù ASMLÀÌ, ±Ø½ÉÇÑ ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ºÒȲ¿¡µµ ¿¹»óÀ» ¶Ù¾î³ÑÀº ½ÇÀûÀ» ³½ °ÍÀº,
¹Ì¼¼ °øÁ¤ È®º¸°¡ ºÒ°¡´ÉÇØÁø Áß±¹ ¾÷üµéÀÌ, ¾×ħºÒȾƸ£°ï(ArFi) ±â¹Ý ½ÉÀڿܼ±(DUV) ¼÷·Ã °øÁ¤ °È¿¡ ³ª¼¸ç °ü·Ã ¹ßÁÖ¸¦ ´Ã·Á, ASMLÀÇ ½ÇÀû¿¡ Ç÷¯½º ¿µÇâÀ» ÁØ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.